脉冲激光沉积系统

A****点击查看0503工艺试验机

#34;拟脉冲激光沉积系统1台。 主要规格参数： 1、抽气系统包括进口分子泵(抽速≥650 L/s)和进口涡旋干泵(抽速≥3.1 L/s)，腔体与分子泵之间配有气动闸板阀，本底真空度优于9E-7Pa； 2、靶台：靶材尺寸及数量：φ2英寸×3 个；每个靶材均可实现自转、公转，自转速率≤10 RPM，由电机控制；可在公转方向上摆动扫描，以实现激光对靶材的均匀烧蚀； 3、配备进口RHEED电子枪，电子枪能量最高可达30 KeV，工作气压最高可达0.4 Torr（50 Pa）； 4、配备进口ICP离子源，RF电源功率大于500w，流量计10sccm； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。 #34;