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| SG202****点击查看425001高真空燕发镀膜系统 | 1.0/ | 390000.0 | 普迪真空 | PD-450S | 1.真空腔室：真空专用304不锈钢腔室镜面抛光处理 ★2.真空系统采用分子泵+机械泵，高真空气动插板阀，真空测量：一个“二低一高”真空计(量程从大气到3E-9torr); 3.真空极限：极限真空≤5×10-5Pa;漏率：优于5×10-8Pa*L/S(国家标准); 保压测试关机12小时后，真空度≤5Pa; 4.抽速：抽气时间大气压~5*10-4Pa小于20min; 5.基片台:容纳4片基片，每片对应三种掩膜图案，可在蒸镀时自动切换； 样品片台可旋转 ，0～30转／分可调； 6.金属蒸发源及电源：配备进口日本TDK蒸发电源。3组金属蒸发源，有机束源炉3组，对心角度可调。配备独立挡板，温控仪精确控温电源4套； ★7.成膜不均匀性≤±3%； 8.膜厚仪：2路晶振探头，多源共蒸发，膜厚精度0.01埃，可自动PID调节工具因子； ★9.控制方式：PLC+工控机；可输入速率及终厚，PID调节自动控制蒸发，可实现： a.真空单段平滑曲线； b.全图形化、动画界面； c.PLC集成膜厚仪数据； d.多层掩膜版全自动切换； e.高真空低真空可独立控制，自由选择，自动运行； f.漏率自动检测，保养自动提醒。 11.细节设计：抽气口加装过滤网，气路设计避免扬尘，放气阀采用可调流量电磁阀门程序控制开启大小实现放气流量可控。 | 按行业标准提供服务 |
基本情况
上次中标企业: 成都****公司
潜在竞争对手: 共
110
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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