自动剥离机招标公告

自动剥离机招标公告

招标编号：****点击查看

本招标项目自动剥离机，招标人为 ****点击查看，招标项目资金来自自筹，出资比例为 100%。该项目已具备招标条件，现对自动剥离机进行公开招标。

2.1 项目名称：自动剥离机

2.2 数量：2台

2.3 用途说明

当前声表面波（SAW）晶圆制造主要的工艺路径为剥离工艺（Lift-off），通过剥离液浸泡溶解光刻胶，同时带走金属或介质膜，留下所需的金属或者介质图形。随着AOI检测精度的提升，需要进一步将加厚层剥离工艺导入自动剥离机，并且对不同的加厚层光刻胶进行管控防止交叉污染以提升剥离良率。

2.4 功能模块的构成

设备需具备剥离浸泡腔、高压剥离腔、清洗腔、晶圆识别传输系统、化学品供液系统、安全控制系统、数据采集端口、软件控制系统、硬件控制系统。不换夹具的情况下可满足4/6吋同时工作。设备为全新全自动设备。具体详见第五章供货要求

2.5 交货地点：**市**区西永大道23号。

2.6交货期：合同生效后120天以内，调机时间不超过14天（二次配完成后）。

投标人应满足下列资格条件：

3.1投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民**国境内注册的法人或其他组织，具备****点击查看事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 本次招标不接受代理商投标。

3.3 投标人须提供2023年1月至今的，4台（含）以上投标机型同型号或者其同系列机型业绩，其中至少1台业绩须为声表波（SAW）或射频（RF）用户。提供包含但不限于设备采购合同（所供产品****点击查看制造厂商出品，合同首页、签字或盖章页必须提供）、验收合格证明、用户单位联系人及电话等证明材料，以上证明材料均需加盖投标单位公章。上述材料中如涉及相关分项报价金额等商业机密的可以做相应遮盖处理；但必须保留采购单位名称、供应商名称、销售产品名称数量及相关型号等关键证明资料（如材料无法体现上述要求，需提供相应技术附件或其他证明资料予以佐证）。

声表波（SAW）、射频（RF）用户判定标准：须提供客户官网截图或宣传网页截图或媒体报道截图，截图中须体现滤波器、射频、铌酸锂（LN）、钽酸锂（LT）、POI或类似字样。

3.4本次招标不接受联合体投标。

注：投标人的资格要求具体详见招标文件第二章“投标人须知前附表”第1.4.1项。

4.1获取时间：从2026年 10 月 29 日09时00分到2026年 11 月 5 日17时00分。

4.2购买招标文件方式：在线获取。

4.3报名及获取招标文件步骤如下：

本项目采购文件通过电科招采平台在线下载，凡有意参与本项目的供应商请务必在本项目采购文件领取截止时间前完成以下操作：

（1）用户注册：如为首次登录“电科招采平台”（https://www.****点击查看.cn），供应商需进行用户注册（免费），点击用户注册，按照页面信息依次填写信息后提交审核，审核结果会在1个工作日内以短信形式通知，如果审核驳回，可通过注册时填报的手机号码和密码进行登录，查看驳回原因，修改后，可重新提交。如供应商已完成过注册可跳过此步骤。

（2）报名领取采购文件：完成注册的供应商请从用户登录入口进入平台，点击页面上方导航栏的采购执行-我的项目-我要参与，搜索项目名称或招标编号，点击立即参与-购买文件，即可自行在线支付标书款（支持个人微信、支付宝支付），支付成功后，即可下载文件；如选择线下购买，需完成支付后，上传支付证明，复核通过后，即可点击下载文件。

（3）下载发票：线上购买后，即可在财务管理-订单开票中下载发票；若选择线下购买标书，获取发票需在财务管理-订单开票中点击开票申请，财务审核通过后，即可下载发票。

（4）缴纳保证金：点击项目工作台，进入操作页面，点击保证金节点，即可显示本项目的保证金账号。由投标单位基本账户进行****点击查看银行保函。

（5）上述环节如有问题，请与平台技术人联系。联系人：杨老师；联系电话：****点击查看991707。

（6）招标文件售价为500元人民币/套。招标文件售后不退。

5.1 投标文件递交的截止时间（同投标截止时间，下同）为： 2026 年 11 月 19 日 14 时 00分（**时间，下同），递交投标文件时间： 2026 年 11 月 19 日 13 时 30分－ 2026 年 11 月 19 日14时 00分。地点：**市高新区西永大道36****点击查看酒店八楼807会议室。

5.2 逾期送达或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。

本次招标公告在“中国招标投标公共服务平台（http://www.****点击查看.com/）、中国电科电子采购平台（www.****点击查看.com）”上发布。

法务与风控审计部。

招标人：****点击查看

地址：**市高新区西永大道23号

联系人：马老师

电话：172****点击查看0521

招标代理机构：****点击查看

地 址：**市**区五里店嘉景园B座14-1

联系人：张凤、尹奕、罗雪明、刘晶、高磊

电话：023-****点击查看5002 136****点击查看6113