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三维光学轮廓仪-中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-政府采购意向

三维光学轮廓仪-中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-政府采购意向

采购意向 江苏 - 苏州 - 苏州
发布于 2025-03-28

招标详情

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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****点击查看2025年4至5月政府采购意向-三维光学轮廓仪 详细情况
三维光学轮廓仪
项目所在采购意向： ****点击查看2025年4至5月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 三维光学轮廓仪
预算金额： 200.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看0000-设备_A****点击查看0000-电工、电子生产设备_A****点击查看0100-电工生产设备
采购需求概况 ：
三维光学轮廓仪具备白光干涉、相位差干涉、共聚焦三种测量模式；物镜数量4个及以上，水平分辨率优于0.2μm，垂直分辨率优于0.2nm。CCD相机像素大于等于500万，帧率大于等于120；配备电动位移台，可实现晶圆位姿调整；配备数据批量处理软件，配备数据分析软件。以实际公告为准。
预计采购时间： ****点击查看
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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关键词
政府

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