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12英寸硅锗外延系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 12英寸硅锗外延系统 |
预算金额: | 990.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0300-电子工业生产设备 |
采购需求概况 : | 采购该外延系统需能够在12英寸的硅衬底生长高质量生长2-50um硅硼 硅磷掺杂结构外延片;可在纳米尺度上对材料进行精确沉积,精确控制沉积的材料种类、厚度和晶体质量,实现低缺陷密度的外延生长;同时要保障低玷污水平,满足高端半导体器件的制造需求。 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: | 无 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。