微纳电子器件加工与测试系统-电子科技大学-政府采购意向

A****点击查看2402真空应用设备

【1】拟采购高真空电子薄膜溅射仪2台，用于开展微型电子器件方向的本科实验教学。主要指标包括： 1. 真空腔个数：2个（溅射室+预真空室，带有样品传送杆）； 2. 镀膜室极限真空度：≤3 x 10^-7 Torr；3. 靶枪电源：配备1个直流靶枪电源，1个射频靶枪电源；4. 2英寸靶位数量：4个（2个直流+2个射频靶位）； 5. 薄膜均匀度：4英寸范围薄膜厚度不均匀性≤ ±2%；6. 软件程序：上位机+显示屏，实现镀膜过程全自动化控制，手动模式和程序模式可切换。【2】 拟采购微米级电子器件紫外光刻机1台，用于开展微米级电子器件加工本科实践教学。主要指标包括：1. 曝光分辨率：1微米；2. 曝光面积：160mm*160mm ；3. 曝光能量密度：>30mW/cm2 可调；4. 样片尺寸：6寸（向下兼容）；5. 曝光波长：365nm；6. 套准精度：±0.8-1 微米。【3】拟采购磁电输运探针台测试系统1套。主要指标包括：1. 磁场均匀性： ±1% @2mm；2 . 温度变化范围：298 K - 598 K；3. 微波探针测试频率范围：0.05-40 GHz，配备直流探针座不少于8个；4. 磁场分辨率：磁场分辨率0.05mT，磁铁极头集成霍尔探头，实时闭环反馈磁场；5. 最大磁场：1 T @20mm气隙，磁场旋转角度0-360°；6. 吉时利电输运源表：皮安表、纳伏表各1台；7. 磁电阻输运测试软件程序质保期一年；供货周期90日；合同签订后支付合同总价款的 70 %，剩余 30 %在验收合格后支付。